モトローラS形式のオブジェクトファイルをロードする際に、ファイル内に正しくないS5レコードが含まれる場合に出るエラーです。
S5レコードは、S5レコード以前に出てきたデータレコード数をチェックするためのレコードとなります。S5レコードに記述されたレコード数と、S5レコード以前のデータレコード(S1～S3)の行数が一致していないと思われます。この様なエラーが出る場合は、複数のモトローラSのファイルを結合した場合などに発生します。
エラーの回避策としては、ファイルをメモ帳などのテキストエディタなどで開き、S5で始まる行を削除して下さい。
＜関連項目＞
[NETIMPRESS共通] モトローラSレコードの書式を知りたい